國內電漿設備指標廠之一暉盛科技，近幾年在優越電漿技術開發基礎上，不僅成
功打進美系半導體大廠供應鏈，取得國際通訊大廠合作機會，且在先進封裝、晶
圓級封裝、IC載版封裝、micro LED需求帶動下，讓暉盛科技成為半導體前段製程
不可或缺的夥伴，不僅訂單放量成長，整體營運動能強勁。

隨著半導體先進封裝製程對於重度蝕刻需求攀升，暉盛科技所掌握FOWLP扇出型
晶圓級封裝關鍵技術╱FOPLP（Fan-Out Panel Level Packaging扇出型面板級封裝）
不僅可提供業界FOWLP╱FOPLP完整清洗解決方案，尤其FOPLP面板級封裝後勢
看俏，暉盛不但可客製化處理面積，最大可處理基板尺寸可達660X660 mm2，是
業界最大規格，且搭配EFEM晶圓傳送設備，也讓暉盛科技在兩項技術上，取得近
億元訂單。

而5G、AI、高效能運算、物聯網、新能源車╱自駕車等新興市場應用，2.5D╱3D
WLP IC封裝需求亦隨之成長，暉盛科技在既有電漿技術基礎下，可針對各式5G材
料（LCP、PFA、PTFE、ABF）發展高速、高均勻性、低溫製程的捲對捲式電漿去
膠渣設備、微細線路之非等向性電漿去膠渣設備，以及5G通訊的屏下指紋辨識電
漿極化設備，目前也有大廠訂單在手。

有鑑於市場對於電漿設備的要求，不僅是單純處理有機材料，如Epoxy、LCP、
Polyimide、PTFE、Solder Mask ╱ Dry Film等活化與粗化，未來可直接進行基板及
鍍層材料的乾蝕刻加工，不論是藉由具高濃度自由基、無離子轟擊的大氣式微波
電漿噴頭（Microwave Atmospheric Plasma Jet）移除金屬氧化物，或是採用非等向
性高密度反應式離子電漿蝕刻（ICP-RIE），去除包括鈦、鋁等金屬、矽、光阻、
各種介層填充材（Filler）等應用，暉盛科技都有可對應的解決方案。